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氦氣在在半導體中的檢漏作用

 所屬分類：行業資訊    發布時間： 2022-06-18    瀏覽次數：652


氦氣是理想的檢漏氣體

 首先，因為氦氣的.外層的電子是2，而且氦只有一層電子，..層電子是2，這意味著達到了穩定結構，所以氦氣的化學性質相對來說比較穩定，不易發生反應、爆炸等。在一些比較值錢的設備：例如飛機、宇宙飛船等都喜歡用氦氣作為檢漏用氣。但氦氣在自然界的儲量少，價錢也比較昂貴，所以為了節約成本，一些企業也就選擇氫和氮的混合氣體作為檢漏用氣，或者直接用氮氣作為檢漏用氣。



氦氣在在半導體中的檢漏作用

 為了防止半導體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質而導致性能退化，就必須采用管殼來密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產生一些肉眼難以發現的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小，容易穿過小洞而進入到管殼內部，所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞（即能夠檢測出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵，但要比放射性檢漏方法簡便。 氦氣檢漏試驗的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過小洞而進入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。

高純氣體管道氦氣檢漏方法


1、高純大宗氣體管道氦檢漏方法宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

2、內向檢漏法（噴氦法）應采用在高純氣體管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法進行檢漏。

3、閥座檢漏法應采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏。

4、外向檢漏法（吸槍法）應采用在高純氣體管道內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點的方法檢漏。

5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1

6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應符合下列要求：

   6.1、內向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
   6.2、閥座檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
   6.3、外向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

7、氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新進行氣密性試驗并合格，然后應按規定再時行氦檢漏。

8、所有可能泄漏的點應用塑料袋隔離。

9、系統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并應進行吹掃。

10、測試完畢后，應提交測試報告。