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純凈的六氟化硫是一種惰性氣體,在電弧作用下會分解,當溫度高達4000K以上時,大部分的分解物為硫和氟的單原子。電弧熄滅后,絕大部分的分解產物又重新結合成穩定的六氟化硫分子。其中極少量的分解物,在重新結合的過程中與游離的金屬原子、水和氧發生化學反應,產生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設備內時,無論是在故障情況下或是在正常的開斷電弧作用下,可能分解,產生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。
經驗表明,工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環境中,也會感到刺鼻或不舒服的氣味,對鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應在有明顯中毒反應之前的幾秒鐘內就會產生。
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